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產品中心
盛思銳(Sensirion)流量計
ASF1430質量流量計
2024-06-19678


產品特點:

● 總質量流量積分器

● 數據率高達200hz

● 測量范圍可達:0.01-400 sccm

● 良好的分辨率和精度

● 校準和溫度補償

● RS- 232


產品參數:(除非另有說明,所有數據均適用于20℃,1013mbar)。

參數

條件

最小

典型的

最大

單位

流量傳感器


動態范圍1

直接測量

-400


400

Sccm  2

客戶特定的旁路

無限的


無限的


分辨率3

400  sccm flow / 640 ms


0.1


sccm

最低可測流量

<  10 sccm flow / 640 ms


0.0143  (1/70)


sccm

壓降

400  sccm, pabs = 1 bar


120


Pa 4

重復性



0.0025  % FS5

0.025  % m.v.



精度6

23°C

0…5  % of full scale


0.05  % FS



5…100  % of full scale


1 %  m.v.



偏移精度

23°C


<  0.005

<  0.02

% FS

超壓電阻7



1

1.5

bar

響應時間

取決于分辨率設置

5


640

ms

操作溫度


0


70

°C

環境溫度系數

零點


<  0.0008

<  0.002

% FS  / °C

范圍


<  0.03

<  0.08

%  measured value/ °C

靈敏性

pabs=1  bar, 小流量


±0.004


% FS

1.校準在+- 400sccm范圍內有效,但流量顯示在+- 440 sccm范圍內。超過440 sccm顯示溢出。

2.在0℃和1013mbar壓力下,1sccm = 1 cm3/min (1sccm = 0.001 毫升每分鐘)。

3. 可以回到0流量數值

4. 1 bar = 100 000 Pa = 0.9869 atm =401.9 inch H2O = 14.5 psi  

5. 誤差=全量程(FS)的%或測量值(m.v.)的%,以較大的為準。

6. 根據要求可提供更好的校準。允許傳感器預熱以獲得良好的效果。

7. 在OEM解決方案中可以實現更高的超壓電阻。

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