產(chǎn)品特點：
● 快速響應和穩(wěn)定時間（可達50毫秒）
● 優(yōu)良的精度/重復性(分別為測量讀數(shù)的0.8%/0.1%)
● 很寬的動態(tài)范圍 (量程比可達1000：1)
● 多種數(shù)據(jù)接口可供選擇：RS 485，DeviceNet，IO-Link和模擬電壓/電流
● 多種機械連接可供選擇：下裝，Swagelok，VCR，VCO，Legris，C-Seal，W-Seal
● 實標的多種氣體和氣體識別
SFC5400/SFM5400質(zhì)量流量控制器/流量計性能參數(shù)
參數(shù) | 值 | 單位 | |
流量范圍 | 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10 | 20, 50, 100, (2001) | ln/min or slm |
精度2 | 0.8 | 1 | % s.p.3 |
0.08 | 0.1 | % FS | |
重復性 | 0.1 | 0.2 | % s.p. |
0.01 | 0.02 | % FS | |
穩(wěn)定時間典型值4 | 100 (50 for optimized OEM versions 5) | ms | |
取樣頻率 | 1000 | Hz | |
量程比6 | 超過 1000:1 | ||
標準標定氣體 | Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2 | ||
用氣體轉(zhuǎn)換標定的氣體7 | 標準: SF6, C4F8 | ||
工作溫度(環(huán)境和氣體) | 0 – 50 / 32 – 122 | °C / °F | |
Temp. coeff. zero | 0.005 | % FS / °C | |
Temp. coeff. span | 0.06 | % s.p. / °C | |
全量程壓降 |
|
| bar / psig |
輸入最大壓力8 | 10 / 145 | bar / psig | |
最大差壓9 | 5 / 73 | 4 / 58 | bar / psig |
MFC外部泄漏 | 9 x 10-9 | 9 x 10-6 | mbar l/s He |
電磁閥泄露量 | 1 x 10-6 | mbar l/s He | |
熱機時間10 | 1 | sec | |
1 精度會降低；
2 包括偏移、非線性和遲滯。根據(jù)NIST可追蹤基準測量；
3 讀數(shù)%=測量點精度=流量=讀數(shù)；
4 設(shè)定點5%精度內(nèi)流量從10%到100%的響應時間，具有模擬接口的質(zhì)量流量控制器由于模擬電路延遲(通常由因子2)而需要較長的穩(wěn)定時間；
5 50個最小年用量；
6 參數(shù)只適用于質(zhì)量流量控制器。具有模擬接口的設(shè)備的性能取決于布線質(zhì)量，通常不超過500：1；
7 氣體轉(zhuǎn)換是利用標準氣體的組合從實際的氣體校準數(shù)據(jù)中產(chǎn)生的。典型的準確度為2%M.V。/0.2%FS(以較大者為準)。如果您的OEM項目需要更高的精度規(guī)格，請與Sensirion聯(lián)系；
8 進氣道與周圍環(huán)境的壓力差；
9 進氣口和出口之間的壓差。要獲得更高的壓差選項，請聯(lián)系Sensirion；
10 讀數(shù)穩(wěn)定到設(shè)定點的2%精度內(nèi)的時間。
SFC5400/SFM5400訂購代碼的詳細說明
例如: SFC5400 LAG N2 500 mln/min
代碼結(jié)構(gòu): 產(chǎn)品型號XAZ 氣體 范圍 單位 (見下表)
參數(shù) | 值 | 描述 | 文檔查找地方 |
產(chǎn)品型號 | SFC5400 | 質(zhì)量流量控制器 | |
X –電氣通訊 | U | 模擬電壓 0-5 VDC | 第三部分 |
A – 本體材料 | A | Aluminum (steel on request for OEM volumes) | 表二 |
Z – 連接 | 5 | Swagelok 6mm | 第四部分 |
氣體 | Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2, SF6, C4F8 | 表1 | |
流量范圍 | 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100 slm | 表1 | |
單位 | mln/min | 標準毫升/分鐘 | 表7 |
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滬公網(wǎng)安備31011702890168